Atomic-layer deposition

英 美
  • 原子层沉积
  • atomic adj.原子的
  • deposition n.沉积;免职;[律]宣誓作证;证言
  • layer n.层vi.分层vt.将某物堆积成层
    1. An apparatus and process for atomic layer deposition that minimizes mixing of the chemicals and reactive gases is disclosed.
      在本发明中提供了一种用于原子层沉积的装置和方法,该装置和方法能减小化学用品和反应气体的混合。