Single wafer epi equipment

英 美
  • 单片式外延炉
  • EPI pref.表示“在...之上；在...旁；在...之外”abbr.位置电子指示器(=electronicpositionindicator)
  • equipment n.设备；装备；器材
  • single adj.单一的；单个的；特指某人或某物；单身的；单人的；单程的n.单程票；单曲；单人房间；单身者；一元纸币；(网球)单打比赛；(板球)一分打；(棒球)一垒打v.挑选(一个)
  • wafer n.薄脆饼；圆片；[宗]圣饼；[电]薄片；晶片v.封缄；切成薄片

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