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electrostatic wafer chuck
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electrostatic wafer chuck
英 美
静电薄片夹头
chuck
n.抛掷;卡盘;咯咯声v.扔;抛掷;撵走;咯咯叫
electrostatic
adj.静电的;静电学的
wafer
n.薄脆饼;圆片;[宗]圣饼;[电]薄片;晶片v.封缄;切成薄片
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electro
electroless PTH
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