optical wafer stepper

英 美
  • 步进式晶片曝光机
  • optical adj.视觉的；光学的
  • stepper n.(以特殊步态)行走的人或动物；舞者；分档器(分节器)
  • wafer n.薄脆饼；圆片；[宗]圣饼；[电]薄片；晶片v.封缄；切成薄片

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