optical wafer stepping

英 美
  • 步进式晶片曝光
  • optical adj.视觉的；光学的
  • stepping n.步进(通过透镜天线后波前的取平；改变)
  • wafer n.薄脆饼；圆片；[宗]圣饼；[电]薄片；晶片v.封缄；切成薄片

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