surface micromachined device

英 美
  • 表面硅微器件
  • device n.装置；设备；策略；设计
  • micromachined 微机械
  • surface n.表面；外表；平面adj.表面的；肤浅的vt.在...上加表层；使...成平面vi.浮到水面；显露；在表面工作

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